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详细分析我国ITO导电玻璃行业现状及发展前景分析

日期:2020-08-25 08:50:24   来源:中国项目工程咨询网   浏览:
   ITO(Indium Tin Oxide,氧化铟锡)导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上,利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡(俗称ITO)膜加工制作成的。在平板显示产业中主要应用在触摸屏和液晶面板领域。触摸屏领域应用的是TP-ITO导电玻璃,而液晶面板领域应用的是LCD-ITO导电玻璃,两者的主要区别在LCD-ITO导电玻璃还会在镀ITO层之前,镀上一层二氧化硅阻挡层,以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高端LCD-ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理,以得到更均匀的显示控制。LCD-ITO导电玻璃基板一般属超浮法玻璃,所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。

  ITO导电玻璃是一种既透明又导电的玻璃,它采用磁控溅射沉积成膜技术,以ITO材料作为溅射靶材,在玻璃基板上生成一层很薄的ITO膜。这层ITO膜同时具有良好的导电性和透光性,适于制作透明显示电极,是平板显示器生产的重要原材料之一。玻璃基板的厚度通常只有0.3~1.1mm,它具有重量轻、透明度高、平整度高、有一定的机械硬度、容易切割加工等特点,因此被广泛应用于平板显示器上。ITO导电玻璃随着20世纪70年代初LCD显示器的兴起至今已经历了40多年的历程,并从过去只能生产高电阻、小尺寸、普通表面、黑白显示的产品,发展到了现在能够生产低电阻、大尺寸、抛光表面、彩色显示的产品。

  早期的ITO导电玻璃是采用铟锡合金作为溅射靶材,通过氧化反应而成膜的。此种靶材对溅射工艺控制有极其严格的要求,尤其是氧气流量的稍许波动,就可能形成氧化反应不充分,而使膜层透过率和蚀刻性能变差;或因氧气流量较大,而造成靶面“中毒”,使溅射效率下降,从而使膜层变薄、电阻升高。鉴于此,材料商开发出了氧化靶,即将高纯度的氧化铟和氧化锡超细粉末,按一定比例充分混合好,再采用粉末冶金工艺烧结成固体靶材。随着制作工艺的不断改进,ITO靶材密度逐步提高,现在已达到99.5%以上,基本满足了ITO导电玻璃的需要。ITO导电玻璃的性能指标主要有基板玻璃的外形尺寸、表面电阻(或方块电阻)、透光率、膜层厚度、蚀刻性能和可靠性等。

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