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悬浮石墨烯传感芯片产品研发成功

日期:2019-09-05 10:20:24   来源:   浏览:
        近日,东旭光电与英国曼彻斯特大学的科研人员合作,研发出悬浮石墨烯传感芯片产品。
  据该产品的研究人员介绍,悬浮石墨烯传感芯片技术为化学气相沉积法石墨烯薄膜“分布”创造了独特的解决办法,使石墨烯能更好发挥其电学和力学性能。悬浮石墨烯传感芯片技术在力学、温度、湿度检测以及传感等领域将有广阔的应用前景。化学气相沉积法生产石墨烯是将碳原子沉积在特定基体上的一种生产单层石墨烯方法,但其具有转移步骤成本高,导电率低的缺点。硅晶圆悬浮石墨烯技术是通过传统半导体工艺,形成上表面为单层石墨烯薄膜的悬浮腔体阵列,最终形成硅晶圆表面的悬浮石墨烯阵列。

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